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Détecteur Laser Wafer-Mapping à grande portée


Entre les différents centres de fabrication, les wafers sont transportés dans des cassettes. Afin d’éviter les détériorations par les pinces lors des manutentions automatiques, il est indispensable que la position exacte du wafer soit détectée avec précision. Ils ne doivent, en aucun cas, être mal introduits ou introduits par deux dans les cassettes.


C’est l’une des fonctions du détecteur Laser Wafer-Mapping de Baumer Electric que de détecter indépendamment tous les wafers à partir de la face ouverte de la cassette. La technologie utilisée permet une détection des wafers, quelle que soit leur surface et leur revêtement. Les marques de repérage du wafer (« notch » ou « flat ») n’ont aucune influence.

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